
什么是MEMS?MEMS傳感器基本構成
MEMS是
Micro-Electro-MechanicalSystem的縮寫,中文名稱是微機電系統。MEMS芯片簡而言之,就是用半導體技術在硅片上制造電子機械系統,再形象一點說就是做一個微米納米級的機械系統,這個機械系統可以把外界的物理、化學信號轉換成電信號。這類芯片做出來可以干嘛?最常用的是承擔傳感功能。
在整個大的信息系統里有點類似于人的感官系統,例如MEMS麥克風芯片相當于人的耳朵,可以感知聲音;MEMS揚聲器芯片相當于人的嘴巴,可以發出聲音;MEMS加速度計、陀螺儀、磁傳感器芯片相當于人的小腦,可以感知方向和速度;MEMS壓力芯片相當于人的皮膚,可以感知壓力;MEMS化學傳感器相當于人的鼻腔,可以感知味道和溫濕度。沒有MEMS芯片的人工智能和萬物互聯,就相當于沒有感官器官的人。
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